说明
该仪器主要用于水晶晶棒在X-RAY照射下定向、粘结。采用特种角度编码器,与主轴直接连接。晶棒以大R面定位,用千分尺微调,粘料装置采用特种导轨,使水晶晶棒粘结精度大大提高,特别适合与线切割机、多刀切割机配套,以切割出更高精度晶片。该仪器主要用于AT切型,也可用于BT切型 。
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主要参数见下表:
项目 | 参数 |
料板尺寸 | 330×200×20 |
晶棒厚度 | 10,9,(8,7) |
晶棒在料板上的粘结精度 | ±5″ |
粘结精度显示方式 | 数字/模拟率表,具有峰值记忆力功能 |
切型角最小读数 | 1″ |
料板固定方式 | 电磁铁 |
料板移动方式 | 特种精密导轨 |
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