光盘使用的靶材：铝，铜，银和其合金材料。规格包括ARQ930，Singulus2，M2,190A等等。

靶材名词释义

一，靶材定义 

 靶材----镀膜过程中基本耗材，提供成膜的原材料：成膜物质。

二，靶材物理性质: 
（1）导热性；      （2）导磁性  ;     （3）导电性；      （4）热胀系数;      （5）机械强度;   （6）熔点 .  
            
三，靶材分类：
      （1）金属靶材：Ag,Au,Al,C,Cu,Cr,Ni,Ti,SS,Si,Sn,Zr
      （2）合金靶材：NiCr20,TiAl50,InSn20,SiAl30,SnZn52,MoNb,AlNd,
      （3）陶瓷靶材：TiOx,ZnO,ITO,GIZO,Si3N4,NbOx,NTO

四，靶材形状：从圆形, 方形, 管状, 环形, 三角形, 圆锥形, 到各种特性设计的靶材。
   常用规格：
   圆块Φ100*40mm, Φ60*40mm,
   方形平板各种尺寸,
   管状Φ100*10, Φ70*7

五，靶材应用不同的行业：
1.记录媒体工业：
 1）光数据存储：光盘；2）磁数据存储：磁头，磁盘；

2.硬质装饰膜层工业；
3.大面积镀膜工业；
4.平板显示工业；
5.光学/光通信工业；
6.半导体微电子工业；