合金靶材：钛铝合金靶TiAl、钛锆合金靶TiZr、钛镍合金靶TiNi、镍钒合金靶NiV、镍铬合金靶NiCr、镍铝合金靶NiAl、镍铁靶合金NiFe、硅铝合金靶SiAl、锌铝合金靶ZnAl、钯银合金靶、铜铟镓硒靶，铜铟镓靶材。