饱和蒸汽压在常温下极低,极限真空度可达10-8~10-9kPa,比矿物油型扩散泵油的极限压力提高较多;
优良的热安定性,耐高温, 在经常处于200℃的工作温度和金属催化作用下不易氧化;
在抽气速率和返流率方面显示出良好的性能;
较矿物油型扩散泵油具有极佳的氧化安定性,在与大气接触时不易氧化;
能够抗磁场放射线的辐射并具有难燃性。
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