VMU222

VMU322

VMU432

VMU542

行程(mm)

200×200×200

300×200×200

400×300×200

500×400×200

外部尺寸(mm)

1040×740×1620

1040×740×1620

1240×800×1620

1440×1000×1620

重量(kg)

240

250

310

400

承重(kg)

25

25

25

25

测量精度

XY轴*

E2=(2.0+L/300)µm

E2=(2.5+L/300)µm

Z轴**

E1=(5.0+L/200)µm

速度

XY轴

200mm/S

Z轴

100mm/S

光栅尺

Renishaw光栅尺

CCD

 1/2"CCD 黑白/彩色

光源

轮廓光

LED冷光源，256级亮度可调

表面光

6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调

同轴光

LED冷光源，256级亮度可调

光学系统***

 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326

软件

Vispec测量软件

运动控制

自主专利的CNC直流伺服系统

保修期

1年

工作环境

温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%

振动<0.002g，低于15Hz

电源

220V/50Hz/10A

**  Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。

***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。