IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor),绝缘栅双极型晶体管,是由BJT(双极型三极管)和MOS(绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件, 兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点。GTR饱和压降低,载流密度大,但驱动电流较大;MOSFET驱动功率很小,开关速度快,但导通压降大,载流密度小。IGBT综合了以上两种器件的优点,驱动功率小而饱和压降低。非常适合应用于直流电压为600V及以上的变流系统如交流电机、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等领域。 图1所示为一个N 沟道增强型绝缘栅双极晶体管结构, N+ 区称为源区,附于其上的电极称为源极。N+ 区称为漏区。器件的控制区为栅区,附于其上的电极称为栅极。沟道在紧靠栅区边界形成。在漏、源之间的P 型区(包括P+ 和P 一区)(沟道在该区域形成),称为亚沟道区( Subchannel region )。而在漏区另一侧的P+ 区称为漏注入区( Drain injector ),它是IGBT 特有的功能区,与漏区和亚沟道区一起形成PNP 双极晶体管,起发射极的作用,向漏极注入空穴,进行导电调制,以降低器件的通态电压。附于漏注入区上的电极称为漏极。 IGBT 的开关作用是通过加正向栅极电压形成沟道,给PNP 晶体管提供基极电流,使IGBT 导通。反之,加反向门极电压消除沟道,切断基极电流,使IGBT 关断。IGBT 的驱动方法和MOSFET 基本相同,只需控制输入极N一沟道MOSFET ,所以具有高输入阻抗特性。当MOSFET 的沟道形成后,从P+ 基极注入到N 一层的空穴(少子),对N 一层进行电导调制,减小N 一层的电阻,使IGBT 在高电压时,也具有低的通态电压。
IGBT模块的电压规格与所使用装置的输入电源即试电电源电压紧密相关。其相互关系见下表。使用中当IGBT模块集电极电流增大时,所产生的额定损耗亦变大。同时,开关损耗增大,使原件发热加剧,因此,选用IGBT模块时额定电流应大于负载电流。特别是用作高频开关时,由于开关损耗增大,发热加剧,选用时应该降等使用。
由于IGBT模块为MOSFET结构,IGBT的栅极通过一层氧化膜与发射极实现电隔离。由于此氧化膜很薄,其击穿电压一般达到20~30V。因此因静电而导致栅极击穿是IGBT失效的常见原因之一。因此使用中要注意以下几点:
在使用模块时,尽量不要用手触摸驱动端子部分,当必须要触摸模块端子时,要先将人体或衣服上的静电用大电阻接地进行放电后,再触摸; 在用导电材料连接模块驱动端子时,在配线未接好之前请先不要接上模块; 尽量在底板良好接地的情况下操作。 在应用中有时虽然保证了栅极驱动电压没有超过栅极最大额定电压,但栅极连线的寄生电感和栅极与集电极间的电容耦合,也会产生使氧化层损坏的振荡电压。为此,通常采用双绞线来传送驱动信号,以减少寄生电感。在栅极连线中串联小电阻也可以抑制振荡电压。
此外,在栅极—发射极间开路时,若在集电极与发射极间加上电压,则随着集电极电位的变化,由于集电极有漏电流流过,栅极电位升高,集电极则有电流流过。这时,如果集电极与发射极间存在高电压,则有可能使IGBT发热及至损坏。
在使用IGBT的场合,当栅极回路不正常或栅极回路损坏时(栅极处于开路状态),若在主回路上加上电压,则IGBT就会损坏,为防止此类故障,应在栅极与发射极之间串接一只10KΩ左右的电阻。
在安装或更换IGBT模块时,应十分重视IGBT模块与散热片的接触面状态和拧紧程度。为了减少接触热阻,最好在散热器与IGBT模块间涂抹导热硅脂。一般散热片底部安装有散热风扇,当散热风扇损坏中散热片散热不良时将导致IGBT模块发热,而发生故障。因此对散热风扇应定期进行检查,一般在散热片上靠近IGBT模块的地方安装有温度感应器,当温度过高时将报警或停止IGBT模块工作。
一般保存IGBT模块的场所,应保持常温常湿状态,不应偏离太大。常温的规定为5~35℃ ,常湿的规定在45~75%左右。在冬天特别干燥的地区,需用加湿机加湿; 尽量远离有腐蚀性气体或灰尘较多的场合; 在温度发生急剧变化的场所IGBT模块表面可能有结露水的现象,因此IGBT模块应放在温度变化较小的地方; 保管时,须注意不要在IGBT模块上堆放重物; 装IGBT模块的容器,应选用不带静电的容器。
IGBT模块由于具有多种优良的特性,使它得到了快速的发展和普及,已应用到电力电子的各方各面。因此熟悉IGBT模块性能,了解选择及使用时的注意事项对实际中的应用是十分必要。
发展历史
1979年,MOS栅功率开关器件作为IGBT概念的先驱即已被介绍到世间。这种器件表现为一个类晶闸管的结构(P-N-P-N四层组成),其特点是通过强碱湿法刻蚀工艺形成了V形槽栅。
80年代初期,用于功率MOSFET制造技术的DMOS(双扩散形成的金属-氧化物-半导体)工艺被采用到IGBT中来。[2]在那个时候,硅芯片的结构是一种较厚的NPT(非穿通)型设计。后来,通过采用PT(穿通)型结构的方法得到了在参数折衷方面的一个显著改进,这是随着硅片上外延的技术进步,以及采用对应给定阻断电压所设计的n+缓冲层而进展的[3]。几年当中,这种在采用PT设计的外延片上制备的DMOS平面栅结构,其设计规则从5微米先进到3微米。
90年代中期,沟槽栅结构又返回到一种新概念的IGBT,它是采用从大规模集成(LSI)工艺借鉴来的硅干法刻蚀技术实现的新刻蚀工艺,但仍然是穿通(PT)型芯片结构。[4]在这种沟槽结构中,实现了在通态电压和关断时间之间折衷的更重要的改进。
硅芯片的重直结构也得到了急剧的转变,先是采用非穿通(NPT)结构,继而变化成弱穿通(LPT)结构,这就使安全工作区(SOA)得到同表面栅结构演变类似的改善。
这次从穿通(PT)型技术先进到非穿通(NPT)型技术,是最基本的,也是很重大的概念变化。这就是:穿通(PT)技术会有比较高的载流子注入系数,而由于它要求对少数载流子寿命进行控制致使其输运效率变坏。另一方面,非穿通(NPT)技术则是基于不对少子寿命进行杀伤而有很好的输运效率,不过其载流子注入系数却比较低。进而言之,非穿通(NPT)技术又被软穿通(LPT)技术所代替,它类似于某些人所谓的“软穿通”(SPT)或“电场截止”(FS)型技术,这使得“成本—性能”的综合效果得到进一步改善。
1996年,CSTBT(载流子储存的沟槽栅双极晶体管)使第5代IGBT模块得以实现[6],它采用了弱穿通(LPT)芯片结构,又采用了更先进的宽元胞间距的设计。目前,包括一种“反向阻断型”(逆阻型)功能或一种“反向导通型”(逆导型)功能的IGBT器件的新概念正在进行研究,以求得进一步优化。
IGBT功率模块采用IC驱动,各种驱动保护电路,高性能IGBT芯片,新型封装技术,从复合功率模块PIM发展到智能功率模块IPM、电力电子积木PEBB、电力模块IPEM。PIM向高压大电流发展,其产品水平为1200—1800A/1800—3300V,IPM除用于变频调速外,600A/2000V的IPM已用于电力机车VVVF逆变器。平面低电感封装技术是大电流IGBT模块为有源器件的PEBB,用于舰艇上的导弹发射装置。IPEM采用共烧瓷片多芯片模块技术组装PEBB,大大降低电路接线电感,提高系统效率,现已开发成功第二代IPEM,其中所有的无源元件以埋层方式掩埋在衬底中。智能化、模块化成为IGBT发展热点。
现在,大电流高电压的IGBT已模块化,它的驱动电路除上面介绍的由分立元件构成之外,现在已制造出集成化的IGBT专用驱动电路.其性能更好,整机的可靠性更高及体积更小。
IGBT晶体管;串联谐振;半可控整流 长期以来可控硅中频电源占领着国内感应加热设备的主流,它的负载采用并联谐振方式.此种电源具有技术成熟、负载匹配方便等优点,但由于它的整流部分采用可控硅全控整流方式,所以对电网产生的谐波污染严重;同时由于它的负载是一种电流型谐振方式,电压低电流大,所以线路损耗比较大。随着国家对治理电网污染和节能降耗的要求的提出,市场急需一种无谐波干扰,并且节能降耗的感应加热设备来满足广大用户要求,我公司根据目前市场需求组织开发了节能型IGBT晶体管中频电源。 IGBT(InsulatedGateBipolarTransistor)是一种大功率半导体器件,它是一种双极性绝缘栅晶体管。于80年代开始投入市场。目前世界上主要有以下几个厂家:德国西门子(EUPEC)、德国西门康(SEMIKRON)、日本三菱公司、美国ABB公司,我公司目前采用德国西门康公司的SⅪ订500GAl28DIGBT模块。它是一种正温度系数的IGBT模块,有利于并联时均流。1节能型IGBT晶体管中频电源组成 节能型IGBT晶体管中频电源共由四部组成,它们分别为整流、滤波、逆变输出、熔炼炉体。结构图如下: 素 C 节能型IGBT晶体管中频电源各部分工作原理如下: (1)整流部分:IGBT中频整流采用半可控方式,可控硅仅作开关使用,即每当启动设备时整流后的电压总保持500V,而不随功率大小而变化,这样可大大减小了谐波的产生,减轻了对电网的谐波干扰。整流控制部分采用CPLD控制,它与IGBT中频主板之间通过四根线进行连接,其中两根作为启动整流线,另两根作为停止、保护信号线。 (2)滤波部分:IGBT中频采用电抗器滤波和电解电容滤波两种方式,电抗器滤波可使电流连续。电解电容滤波可使电压恒定,这样可保逆变部分得到一个稳定的电压源和电流源。 (3)IGBT模块逆变部分:逆变部分采用半桥逆变。逆变器件为IGBT模块.它是由德国西门康公司生产的(SEMIKRON),此种模块为一种正温度系数的模块,即当温度升高时它的通态阻抗将增大,这样有利于均流。 178 李庆新节能型IGBT晶体管中频电源(4)IGBT模块驱动:驱动部分采用德国西门康公司生产的配套驱动板,此种驱动板驱动能力强,保护功能完善,可同时驱动6块IGBT模块,具有过流、过压保护功能。高档次的驱动板是设备可靠运行的有利保障。 (5)驱动电源:驱动电源采用隔离电模块,即驱动电源的“地”与外部电源是隔离的。这样可避免外部干扰的影响.有利于设备的可靠运行。 (6)主控板:主控制板由我公司自主开发设计。它具有以下功能 ①脉冲合成功能:主控制板将单路脉冲信号通过JK触发器分成两路脉冲,然合通过一系列的逻辑门电路将此信号合成为两路对称的双路脉冲,两路脉冲之间的死区时间可调。②频率跟踪功能:主控板将槽路信号与调功电位器电压信号合成一复合电压信号,通过此电压信号控制压控振荡器的输出频率,从而使线路板上的输出频率始终跟随槽路频率。说明:调功电位器实质是调整换流角度。③同步保护功能:当槽路频率与主控制板上触发输出脉冲频率不同步时,设备功率将自动降到最低,这样有利于保护设备。④过流、限流功能:IGBT中频主控制板具有两路过流和限流功能,一路来自三相进线,另一路来自感应圈。当超过所设定的电流值时主控制板将报过流故障。并自动停止设备运行;当输出电流达到所规定的电流时主控板将进行限流状态,并使电流稳定于所设定的电流值不变,此时达到恒功率运行。⑤水温、水压保护功能:IGBT中频主控板通过温度传感器监视循环水的温度,当水温超出所规定的温度时主控制板将报警,同时自动停止设备运行;IGBT中频主控板同时具有水压保护功能。因IGBT中频采用内外两个循环.所以水压保护分为内水压和外水压报警,当水压低于设定的水压值时主控板将报警,同时自动停止设备运行。2节能型IGBT晶体管中频电源性能特点 (1)节能:节能型IGBT晶体管中频电源比传统可控硅中频电源节能25%~28%,节能的主要原因有以下几个方面:①逆变电压高,电流小,线路损耗小,此部分可节能15%~18%},节能型IGBT晶体管中频电源逆变电压为2800V,而传统可控硅中频电源逆变电压仅为750 V,电流小了近4倍,线路损耗大大降低;②功率因数高,功率因数始终大于0.98,无功损耗小,此部分可可控硅中频电源节能3%~5%。由于节能型IGBT晶体管中频电源采用了半可控整流方式,整流部分不调可控硅导通角,所以整个工作过程功率因数始终大于0.98,无功损耗小;③炉口热损失少:由予节能型IGBT晶体管中频电源比同等功率可控硅中频电源一炉可快20min,20min时间内炉口损失的热量可占整个过程的3%,所以此部分比可控硅中频可节能3%左右。 节能型IGBT晶体管中频电源与可控硅中频电源经济效益对比表 电源类型 电耗 熔化率 节约电能 节约电费 年产量 经济效益 0.5吨可控硅中频炉 850度/吨 1.5小时,吨 不节电 不节约 1000吨 无效益 0.5吨IGBT晶体管巾频电源 650度/吨 1小时/o.5吨 节电200度/吨 节约(O.5元/度)100元/吨 1400吨 14万元 0.75吨以上H,控硅中频电源900度/吨 1.5度/吨 小节电 不节约 1000吨 无效益 0.75吨以上IGBT晶体管中频电源600度/吨 1小时/吨 节电300度/吨 节约(0.5元/度)150元/吨 1500吨 22.5万元 (2)无高次谐波干扰:高次谐波主要来自整流部分调压时可控硅产生的毛刺电压,它会严重污染电网,导致其它电器设备无法正常工作,而节能型IGBT晶体管中频电源的整流部分采用半可控整流方式,直流电压始终工作在最高,不调导通角,所以它不会产生高次谐波,不会污染电网、变压器,开关不发热,不会干扰工厂内其它电子设备运行。 (3)恒功率输出:可控硅中频电源采用调压调功,而节能型IGBT晶体管中频电源采用调频调功,它不受炉料多少和炉衬厚薄的影响,在整个熔炼过程中始终保持恒功率输出,节能型IGBT晶体管中频电源是唯一实现恒功率输出的变频电源,尤其是生产不锈钢、铜、铝等不导磁物质时,更显示它的优越性,熔化速度快,炉料元素烧损少。节能效果更好。降低了铸造成本。 (4)产品启动性能好:节能型IGBT晶体管中频电源的逆变方式为串联逆变,串联逆变的其中一个特点为100%启动,所以节能型IGBT晶体管中频电源彻底解决了可控硅中频启动困难的问题。不论空载还是满载均能100%启动。 179 李庆新节能型IGBT晶体管中摄电源 (5)使用维修方便:节能型IGBT晶体管中频电源电路结构简清,保护齐全,具备完备的故障显示功能能迅速找到故障点.维修方便。3技术参数与工作波形 节能型IGBT晶体管中频电源(以300 kW为例)技术参数如下①三相进线电压380V.@直流电压500V;@直流电流600A;④感应圈电压2800V:@中频频率2 kHz@熔化率O 57t/h;⑦电耗630 kW h/t。 各部分工作渡形如下: ①IGBT触发波形: 实测照片如下 逆变电压电流波形图:测试方{击:采用双踪示渡器一路澍逆变输出电压。另一路测互感器采样波形,实测波形如下.电压超前电流2 us,当加料时保证电压不超前电流,具体渡形如下。