（1）流量范围： 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~1, 2, 3, 5,10，20，30 50 100 ..1000SLM
（2）准确度（%F·s）： ±1 % F.S（20，30SLM ±2 % F.S）
（3）线性（%F·s）： ±(0.5~1) % F.S
（4）重复精度（%F·s）： ±0.2 %F.S
（5）响应时间(sec) 电特性： <10
气特性： <1~4
（6）工作压差范围(MPa)： 0.05~0.3
（7）耐压(MPa)： 10
（8）工作环境温度（℃）： 5~45℃
（9）输入输出信号电压：0~+5.00V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
（10）电源：+15V±5% 50mA；-15V±5% 200mA
（11）调节阀常闭电磁调节阀
（12）流量控制范围：2~100%F.S
（13）温度系数：<0.1%F.S/℃
（14）漏率：<1*10-7 Pa*m3/s(He)
（15）外形尺寸（mm） 125×32×105
（16）重量（kg） 1.0

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