高耐电压真空的耐电压高，易于实现小型化；
低损失 可以适用于高RF频率；
大电流通电 无整流子结构形式，适合大电流；
高信赖性 具有自我恢复性，可以承受瞬间过电压；
规格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰试验电压 [kVp] 15 5 5
静电容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF动作电压 [kVp] 9 3 3
直线可变性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
转速（回） 12±1 12±1 12±1
最大容许电流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回转转矩（N/cm）
(kgf/cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直径） (mm)
 1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73