一. 机器用途:
HKD-220KJ型晶片扩张机被广泛应用于发光二极管、中小型功率三极管、集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。
二.机器特点:
①采用双气缸上下控制;②恒温设计,膜片周边扩张均匀适度;③加热、拉伸、扩晶、固膜一次完成;④加热温度、扩张时间、回程速度均匀可调。⑤操作简便,单班产量大;⑥机器外形见图。
三.技术参数:
1.电源电压: AC220V±10%,50Hz
2.工作气压: 4Kg/cm²
3.温度范围: 室温~400℃
4.上气缸行程:150/200/300/350 mm
5.下气缸行程:100 mm(可双向调节)
6.扩张面积: 7850/17670/31420/40450 mm ²
7.外型尺寸: 长370mm×宽320mm×高850/950mm
8.机器重量: 20kg
四.操作步骤:
1.插上电源,气管快速接头接上高压气管;
2.打开电源开关,将温度设定于75℃(不同晶片膜温度差异±5℃);
3.将上气缸开关拨至“上升”位置,上压模回至最上方。将下气缸开关拨至“下降”位置,下压模回至最下方(反复几次下气缸动作,将上升速度调整至越慢越好);
4.松开锁扣,掀起上工件板,将固晶内环放于下压模,将晶片膜放于下压模正中央,晶片朝上,将上压模盖上,锁紧锁扣;
5.将下气缸开关拨至“上升”位置,下压模徐徐上升,薄膜开始向周围扩散,晶粒间隔逐步拉大。当晶片间隔扩散至原来的约2~3倍时即停止上升。将固晶外环圆角朝下平放在薄膜与内环上方;
6.将上气缸开关拨至“下降”位置,上压模开始下压,将扩散后的晶片膜套紧定位,上压模回至最上方;
7.将下气缸开关拨至“下降”位置,下压模下降至最下方,取出扩晶完毕的晶片膜;
8.扩晶完毕后修剪多余膜面,送下工序备胶固晶。
五.维护保养:
1.用干净布块擦拭附着灰尘,活动部位定期涂少许机油润滑。
2.放置晶片膜的部位必须干净,附着的油脂、灰尘会污染晶片造成不良品产生。
六.注意事项:
1.气缸工作时切勿将手接近或放入压合面。
2.下压模表面切勿用锐器敲击、磨擦,以免形成伤痕。
3.机器安装时,应正确、可靠接地。
4.机箱内电源危险,箱门应锁紧。
5.更换加热管或其它电气元件时,需在电源插头拨下后进行。
6.切勿用带水或溶剂的抹布擦拭机器,以免产生漏电或燃烧危险。
七.交货方式:送货上门(广东省内)
八.售后服务:产品保修半年,终身维护,免费培训