SUSS光刻机用曝光灯的技术参数
SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目前得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列，具体良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前给苏斯光刻机配套的相关参数如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
Lamps for SÜSS Equipment
Lamp type
Max life[h]
Equipment(适用机型）
HBO 200W/DC
1000
MJB3
HBO 350W/S
600
MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D
1000
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
HBO 5000W/S
1000
MA300
以下是欧司朗曝光灯的技术参数：
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