仪器特点
|
◆超精密全自动测量，四轴CNC控制； |
|
◆精密花岗岩机台，精度高，稳定性好； |
|
◆三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统； |
|
◆Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好； |
|
◆进口自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量； |
|
◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源； |
|
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头； |
|
◆提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。 |
|
|
技术参数
| 型号 |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
VMU542 |
|
行程(mm) |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
500×400×200 |
|
外部尺寸(mm) |
1040×740×1620 |
1040×740×1620 |
1240×800×1620 |
1440×1000×1620 |
|
重量(kg) |
240 |
250 |
310 |
400 |
|
承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
25 |
|
测量精度 |
XY轴* |
E2=(1.6.0+L/300)µm |
E2=(2.5+L/300)µm |
|
Z轴** |
E1=(5.0+L/200)µm |
|
速度 |
XY轴 |
200mm/S |
|
Z轴 |
100mm/S |
|
光栅尺 |
Renishaw光栅尺 |
|
CCD |
1/2"CCD 黑白/彩色 |
|
光源 |
轮廓光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
|
表面光 |
6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 |
|
同轴光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
|
光学系统*** |
6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 |
|
软件 |
Vispec测量软件 |
|
运动控制 |
自主专利的CNC直流伺服系统 |
|
保修期 |
1年 |
|
工作环境 |
温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% |
|
振动<0.002g，低于15Hz |
|
电源 |
220V/50Hz/10A |
| *L表示测量长度，以毫米为单位。
**Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。 |
应用行业
机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、医疗器械、钟表、仪器仪表等。
测量对象
LCD、FPC、PCB、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。
测量元素
长度、宽度、高度、孔距、间距、Pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。
