NIKON L200金相显微镜
ECLIPSE L200 反射专用型
ECLIPSE L200D 透反射两用型
使用世界顶级水平的尼康CFI60光学系统,对光路中的耀斑有很好的抑制,可以实现很高的图象对比度。
可以观察的最大硅片直径为200mm,观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定); 物镜齐焦距离为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求; 主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能; 光亮调节、光阑调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳; 可以与尼康的硅片输送机配合使用,提高硅片检测效率。 <微分干涉套> 全体物镜共用物镜转换器内的诺曼斯基棱镜,结构简单,成象质量高。 L200 L200D
观察性能的提升
扩大检查范围的反射荧光观察(L200ND)新
反射照明观察,除可进行明场、暗场、微分干涉观察之外,更可进行UV(365nm)激发的反射荧光观察。
对于半导体感光薄膜的残渣、有机EL显示面板的观察发挥了很大的威力。
使用物镜:CFI LU PLAN FLUOR 10X
硅片的明场观察 暗场观察 微分干涉观察 反射荧光观察
反射荧光观察用的电动水银光纤光源[INTENSILIGHT](L200ND)
光源采用了预定心电动水银光纤光源[INTENSILIGHT]。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。
灯箱可与主机分离设置,以降低光源发热对显微镜的影响。6段式的调光机能和快门机能,实现了良好的操作性。
约2000小时超长使用寿命的灯泡大幅降低了使用成本。
操作性能提升、理环保
比12V100W更亮的高亮度12V50W卤素灯 新
采用了12V50W的[LV-LH50PC预定心灯箱],与12V100W相比,耗电量削减了约一半,又可达到与其同等甚至更亮的亮度。
灯丝位置经过优化设计,且灯箱里有反光镜,使照明视场均匀,并提高照明效率。特别是用到50倍以的高倍物镜时,能得到比12V100W亮约20%的观察图象。
更环保,也能防止因热量而造成的焦面偏移的干扰。
抗污染的防静电涂层 新
主机、载物台、镜筒均涂有消静电涂层。为了提高抗污染能力,防止工件因静电感应而受损,从而提高成品率。
可调节到最佳位置进行观察的正立调倾式三目镜筒
视场数25的超大视场,可任意设定0~30°的观察角度。根据使用者体型和观察姿势的不同,可将三目镜筒调节到最佳位置松随意的进行观察。