产品简介

真空预载荷轴承简单的理解就是给普通的气浮垫在吹气的同时又增加了一个真空吸附，这样气浮垫在滑动的同时会有一个固定的载荷，这个载荷可以使气浮垫的浮起高度固定在一个恒定值，进而提升了轴承的刚度。

当真空预载荷轴承的底面为一个高精度的基准平台时（精度达到00级或000级）可以在真空预载荷轴承上面安装一些测头，可以很简单的实现高精度的测量。例如安装上千分表或百分表能实现对平面的快速扫描。

产品特点

Ø 采用真空预压，刚度高且稳定

Ø 高刚度

Ø 运行平稳

Ø 无摩擦，免维护

Ø 表面处理工艺美观

应用领域

    三坐标导轨、半导体抓放夹具、机械加工中心、零重力模拟器中。另外和球形支杆或圆柱形支杆配合使用，可以在作为气浮导轨的一个附件产生平移或旋转运动，还可以作为千分表或光栅测微头的表座，对直线度或平面度进行快速扫描。