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JN-ZLD系列真空电阻式蒸发镀膜机型号及技术参数 |
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性能 型号 |
JN-ZLD-900 |
JN-ZLD-1000 |
JN-ZLD-1200 |
JN-ZLD-1400 |
JN-ZLD-1500 |
JN-ZLD-1800 |
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真空室结构 |
立式双开门、立式单门、卧式单开门、后置真空获得系统 |
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电源类型 |
电阻蒸发电源、离子轰击电源 |
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镀膜室尺寸 |
Ф900×H1100mm |
Ф1000×H1200mm |
Ф1200×H1500mm |
Ф1400×H1800mm |
Ф1500×H1900mm |
Ф1800×H2000mm |
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镀膜室材质 |
优质中碳钢或不锈钢材质 |
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极限真空 |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
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抽气时间 |
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真空获得系统 |
扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（型号可根据客户的需求进行配置） |
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工件回转最大有限直径 |
6轴 Ф260mm |
6轴 Ф280mm |
6轴 Ф360mm |
6轴 Ф420mm |
6轴 Ф460mm |
6轴 Ф560mm |
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蒸发电极 |
标配2对 |
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蒸发功率 |
15KW |
15KW |
20KW |
25KW |
30KW |
35KW |
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整机总功率 |
35KW |
35KW |
50KW |
70KW |
85KW |
105KW |
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冷却方式 |
水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机。（客户提供） |
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工件转架 |
行星式公自转、变频调速（可控可调） |
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控制方式 |
手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC控制 |
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报警及保护 |
对缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施。 |
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设备占地面积 |
W3m×L3m |
W3m×L3m |
W3.5m×L4m |
W5m×L5m |
W6m×L6m |
W6m×L8m |
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其他技术参数 |
水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa |
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备 注 |
镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计。 |
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