紫外线对细菌或细胞照射，使大量细菌或细胞中维持生命的主要构成成分核蛋白中的核酸分子，因大量吸收紫外线而发生性变，以破坏了生理活性，通常认为杀菌效果最高的紫外线波长260.0nm，在现有的人工光源中，低压汞灯的特殊谱线253.7nm与260.0nm最接近，所以具有强烈的杀菌效果，但是一般的低压汞灯虽然在253.7nm处集中了大部分辐射能量,在谱线185.0nm处也具有相当的强度,波长小于200.0nm的紫外线,能被空气很快吸收而产生臭氧。同时降低超纯水的电阻率，因此采用一般低压汞灯流水杀菌装置不能满足电子工业超纯水系统的要求。