不锈钢气体管道

规格：EP、BA、AP

材质：316L.

尺寸：1/4"--6"

系列：TUBE、PIPE

AP管\BA管\EP管

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L不锈钢EP管道，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valley height)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L 不锈钢BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

表面处理方式：
RA 值的比较（Roughness Average,粗糙度平均值）
材质        表面处理方式        内表面粗糙度平均值（um）
316L        AP                RA〈=1.0
316L        BA                RA〈=0.8
316L        EP                 RA〈=0.13-0.2