能对应200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）

能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。

半导体/FPD检查显微镜 MX61                                                               观察影像实例

                             
                              晶圆(明视场观察)        晶圆(暗视场观察)
                              
                              晶圆(微分干涉观察)     彩色滤色片(透射观察)  

UIS2物镜形成的鲜明的观察影像

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的卓越性能。

观察影像
      
明视场观察                  暗视场观察                  微分干涉观察               荧光观察

MPLAPON系列产品

最大程度校正了色差的平面复消色差物镜。是世界上首例以95%以上的弥散比例保证了光学性能（波像差）的通用型号物镜。对应微分干涉观察、简易偏振光观察和AF单元（奥林巴斯U-AFA2MA产品）。

MPLFLN/MPLFLN-BD系列产品

有着高水准的色差校正的半复消色差透镜设计的通用物镜。不仅在明视场观察中，在荧光、微分干涉和简易偏振光观察中都能发挥卓越性能。明暗视场观察请使用BD系列产品。

MPLFLN-BDP系列产品

特别在偏振光、微分干涉观察中能发挥卓越性能的通用物镜。

LMPLFLN/LMPLFLN-BD系列产品

有着高水准色差校正的长工作距离平面半复消色差物镜。由于工作距离较长，能有效防止与有落差的样本的碰撞。统一了从5×到100×的瞳孔位置，切换物镜时不再需要切换DIC三棱镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。

MPLN/MPLN-BD系列产品

实现了视场数达22的良好平整度的平场消色差物镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。

SLMPLN系列产品

长工作距离降低了样本的损伤风险。在无色彩渗出的高对比度观察影像上，甚至可以观察到细微的线的宽度。

LCPLFLN-LCD系列产品

这款物镜适用于透过LCD面板等玻璃板来观察样本。校正环的采用实现了与玻璃厚度相符的像差校正。

考虑了检查效率的设计

主要操作集中配置在前面板上

在对比度的决定上起重要作用的亮度光圈（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和亮度光圈（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知，能够防止错误操作。

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

          倾斜镜筒示意图

安全快速的搬运晶圆

MX61能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存可以在手中快速完成。

自动晶圆搬送机 AL110（200 mm规格）组合

半导体／FPD检查显微镜 MX61 规格