无尘室用的ISC球轴承广泛使用于所有FPD制造设备,世界各厂商把它作为玻璃基板的最新定位。无尘室用的球轴承由于客户的用途和使用方法,材料和负载量均不同,因此不能用以往的球轴承概念来使用。在半导体和FPD制造设备中要有效利用球轴承的优点。
使用ISC球轴承的优点
1.使用ISC球轴承,仅用Pin方式1/10的摩擦抵抗力,可容易定位轻易弯曲的大型玻璃基板。
2 与滑动方式相比,ISC球轴承的滚动方式可长时间保持稳定的低摩擦抵抗,实现玻璃基
板的校准。
3.ISC球轴承比滑动方式的摩擦抵抗力低,最大限度地减少玻璃基板的破碎,可以改善装
卸载部和各种处理工程的效率。