高真空分子泵排气台机组
设备特点与技术指标
1、 真空获得为符合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400HZ后优于3×10-3pa，30分钟以内优于5×10-4pa，极限真空3×10-5pa。

2、 机组为可位移台式结构，能够满足不同位置的排气需要。

3、 机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了排气时间，有效提高了工作效率。