1200×1500

1400×1950

1600×1950

1800×1950

多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等

直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源

直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶

立式双开门、立式单开门

滑阀泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统）

质量流量控制仪（1-4路）

6×10^－4pa（空载、净室）

空载大气抽至5×10^－3pa小于15分钟

6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速

手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC

真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做