高纯水设备
高纯水分为反渗透+EDI和反渗透+离子交换混床：
一、高纯水设备（EDI）概述：
EDI高纯水设备作为制取超纯水的设备，作为反渗透设备后的二次除盐设备，可以制取出高达10-18.2MΩ.CM。因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、发电厂的锅炉的补给水，以及其它应用高纯水。
二、高纯水设备（离子交换混床）概述：
    离子交换是一种利用阴阳交换树脂对离子的选择性及平衡反应原理，去除水中电解质离子的技术。系统工作原理是在交换柱内分别填入阴、阳树脂，利用离子交换树脂在水中和钙、镁及钠离子接触交换，从而得到优质纯水及高纯水，水质安全可靠。离子交换树脂是一种高分子化合物，它在水、酸、碱、盐中性能稳定，不溶解，树脂具有交换容量大，耐磨性强，吸附能力高、膨胀小，可长时间使用等特点。
三、高纯水设备的本质及原理、流程
连续电除盐（EDI，Electro deionization或CDI，continuous electrode ionization),是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被除去的过程。这一过程离子交换树脂是电连续再生的，因此不需要使用酸和碱对之再生。这一新技术可以替代传统的离子交换装置，生产出高达18M-CM的超纯水。又可以比较清晰地描述如下：EDI是利用阴、阳离子膜，采用对称堆放的形式，在阴、阳离子膜中间夹着阴、阳离子树脂，分别在直流电压的作用下，进行阴、阳离子交换。而同时在电压梯度的作用下，水会发生电解产生大量H+和OH-，这些H+和OH-对离子膜中间的阴、阳离子不断地进行了再生。由于EDI不停进行交换——再生，使得纯水度越来越高，所以，轻而易举的产生了高纯度的高纯水。
超纯水的工艺大致分成以下2种：　 　　　
1、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备高纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→出水　　
2、采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备高纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→中间水箱→二级反渗透→中间水箱→EDI→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→出水
 

三、EDI高纯水设备性能优势：
1、可连续，稳定地生产高品质纯水，无需因树脂再生而停机； 　　
2、无污染物排放，既环保又省去了废液处理的投资； 　　
3、设备结构紧凑，占地面积小，节省空间，同时还具有节能优点； 　　
4、出厂完成装置调试，现场工作量小，上岗培训容易； 　　
5、日常保养，操作简单，劳动强度低。
四、电子工业用超纯水概述
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

五、电子工业用超纯水的应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；　 　　
2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；　 　　
3、实验室和中试车间用超纯水；　 　　
4、汽车、家电表面抛光处理；　 　　
5、光电子产品；　 　　
6、其他高科技精微产品；