激光干涉仪系列 |
XL-30,XL-80激光干涉仪系统 |
Renishaw设计,制造和提供激光干涉仪系统已有二十多年的历史。 XL-30,XL-80激光干涉仪系统在便携性、系统精度及动态测量性能方面获得显著提高。其使用更快捷、方便,且保留了纯粹干涉测量系统的优点,该系统结合了成熟的技术及丰富的经验,使得Renishaw激光系统成为全球用户的首选系统。 |
优越的性能:
·±0.5ppm,±1ppm 线性测量精度
·1nm 线性分辨率(甚至在最高速度下)
·4m/s 最高移动速度
·7s 每7秒自动更新环境补偿
·50KHZ 动态采集频率
·80m,30m 线性测量距离为标准设定