1．激光器系统
l 激光波长：1064nm
l 激光平均功率：10W
l 典型光斑尺寸： 35µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长
l 冷却方式：风冷
l 对焦方式：计算机程序控制
2．激光束定位系统
l 激光束运动范围：60mm X 60mm
l 重复定位精度：2µm
l 定位精度：±5µm
l 激光束最小步进：0.76µm
3．图像监视系统
l 监视方式：激光同轴监视
l 监视视场：4-6mm（对角线）
l 图像监视显示屏：19寸液晶
4．测量系统
l 激励方式：电流激励
l 恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
l 电阻测量方式：四线制加电流测电压（可选择二线制）
l 直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
l 调节对象发热控制：程序可设定
l 电阻测量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
l 电阻测量范围： 0.01Ω-10MΩ
l 电阻测量速度：25µs
l 直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
l 探针板：44针11通道四线制（可选其它规格）
l 探针板运动：计算机程序控制
5．分步重复机械运动系统
l 运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力
l 运动范围：290mm*260mm
l 最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根据要求定做）
l 运动分辨率：1µm
l 重复精度：2µm
l 定位精度：±15µm
l 最大运动速度：500mm/s
