洁净室设计标准 ISO14644和GB50073-2001洁净厂房标准规范ISO等级大于或等于表中所示粒径的粒子浓度限制（个/每立方米空气）序数（N）0．1μm0．2μm0．3μm0．5μm1μm5μmISO1级102
ISO2级10024104
ISO3级1000237102358 ISO4级100002370102035283 ISO5级1000002370010200352083229ISO6级1000000237000102000352008320293ISO7级
352000832002930ISO8级
352000083200029300ISO9级
3520000008320000293000