Gemini G3是clean room内的静电问题(ESD)和particle对策(ESA)开发的最终下一代除电器。为clean room设置的Gemini G3发射极组件,在层流环境为正和减的离子生成,控制静电。可在大规模的clean room和空间设置。Gemini G3通过除电器最重要的顶峰电压的控制,实现了与离子平衡快速的除电时间。
Gemini G3附有多功能,能分开到9个地域发射极组件的配置,个别转换各发射极组件可设定。警告的阈值,转换离子输出,脉冲时间等。
产品特点:
装载shimuko独自的重迭摄影技术,极限为止控制离子平衡。
如果系统重要监视项目发生了异常,附根据邮件可发送异常信件功能。
选择硅碳化物针(对应ISO class1)可使用。
保存可能发射极组件(最大1500 单元)的工作状况数据,可记载系统运行状况。
根据安全性系统,系统设定的保护也是万全的。
产品用途:
用于半导体生产线、高可靠性设备的生产线医药制造、医疗设备制造装配线、下一代产品开发线
规格