简单介绍

数字式薄层电阻测试仪，四探针薄膜电阻测试仪 
ST2253 型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量半导体材料的电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方阻）。换上特制的四探针测试夹具，还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。

数字式薄层电阻测试仪，四探针薄膜电阻测试仪的详细介绍

一、数字式薄层电阻测试仪，四探针薄膜电阻测试仪主要特点：

仪器由主机、测试探头（可选配测试台）等部分组成，测试结果由主机数码管直接显示。也可连接PC机由配套软件在PC机上操作，其数据可由软件显示、分析、保存和打印！

主机主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。

仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合。

二、基本技术参数

2.1测量范围

电阻率：10-4～105Ω-cm

方块电阻：10-3～106Ω/□

电阻：10-4～105Ω

2.2可测半导体材料尺寸

直 径： Φ15～100mm, 长（或高）度： ≤400mm

2.3测量方位:

轴向、径向均可

2.4.   4 1/2 位数字电压表：

⑴量程： 200mV

⑵误差：±0.1%读数±2 字

2.5数控恒流源

⑴电流输出：直流电流 0～100mA 连续可调，由交流电源供电。

⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA

⑶误差：±0.5%读数±2 字

2.6四探针测试探头

(1)探针间距 1mm

(2)探针压力: 0～2kg 可调,最大压力约 2kg

(3)探针：碳化钨，Φ0.5mm

2.7.电源

输入: AC 220V±10% ,50Hz  功耗：<20W