3L-400C中科科仪溅射离子泵
| 品牌：中科科仪 |
型号：3L-400C |
材质：铝合金 |
| 驱动方式：磁力 |
用途：增压泵 |
原理：真空泵 |
| 叶轮吸入方式：单吸式 |
流量：420（m3/h） |
轴功率：-5（kW） |
| 最大抽气量：420（m3/min） |
吸入口径：150（mm） |
排出口径：150（mm） |
| 功率：-5KW |
|
|
|
型号 |
2L-400C |
|
接口法兰 |
DN150CF |
|
抽气速率（L/S）对空气
对氩气 |
420
85 |
|
启动压力（Pa） |
≤5×10-4 |
|
极限压力（Pa） |
2.7×10-8 |
|
烘烤温度（℃）带磁铁
不带磁铁 |
＜200
＜300 |
|
工作电压（KV） |
-5 |
|
电极单元（个） |
4 |
|
重量（kg） |
220 |
|
长×宽×高（mm） |
500×265×598 |
