(Perfluoroelastomer)

        优点

       · 耐热特性

       · 优异的抗化学特性

       · 低Outgassing 特性

       · 优异之抗Plasma特性

      缺点：

        · 耐低温特性较差

        · 原料价格较高

        · 生产难度较高 · 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。