无尘室亦称为洁净室或清净室，洁净室，净化车间。 无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 无尘室最主要之作用在于控制产品所接触之气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。

ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级

洁净室的空气洁净度的三种状态： 空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。 静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。 动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。 洁净室的气流流型： 单向流……沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 非单向流……凡不符合单向流定义的气流。 混合流……单向流和非单向流组合的气流。

洁净室的构成： 结构系统……吊杆、钢梁、天花板格子梁、窗户、门等。 空调系统……空气处理箱、过滤器系统、风机等。 地板……高架地板或防静电地板等。 照明器具……日光灯、黄色灯管等

室内空气参数要求
      （1）温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5％。
      （2）新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的最大值：非单向流洁净室总送风量的10-30％；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
      （3）送风量大。为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量（换气次数，是≥25次/h）；如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量（换气次数，是≥15次/h）。
  二、空调方案的选用比较
      1、组合式空气处理机组＋冷水机组＋高效送风口
  这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段（或中间段）、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
      优点：A．空气处理效果好，因空气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确；B．比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房；C．空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源；D．维修频率较低；E．车间的噪音低。
      缺点：A．需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30㎡的机房的；B．造价高。特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担；C．这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
      2、水冷柜机＋增压风柜＋高效送风口
      与第一种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
      优点：A．空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组（增压风柜）里进行控制；B．布置灵活。自带冷源；C．大小厂房、新旧厂房都适用；D．维修频率较低；E．车间噪音低。
      缺点：A．需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置；B．空调机组与空调处理机组要集中布置；C．造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定；这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
      3、分体空调柜机＋+FFU送风口
      这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口（带初效过滤网）；FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
      优点：A．不需要占用机房面积，布置很灵活的；B．可以满足空气的洁净度；C．造价最低。如300㎡的无尘车间初投资约需要40万；D．送风均匀度好。
      缺点：A．温湿度控制较差；B．可以满足空气的洁净度；C．FFU的维修频率高。
  总结
      对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案；对于要求不高的，又要初投资低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。