评定参数：

Ra　Ry　Rz　Rt　Rq　Rp　Rv　Rmax　S　Sm　tp

测量范围：

Ra 0.01μm-10μm

触针位移：

±500μm

分 辩 率：

0.001μm

示值误差：

≤3%±5nm

轮廓测量

使用范围：

X:0-100mm　Z:0-450mm

测量范围：

X:0-100mm　Z:±3、±6、±10

分 辩 率：

0.001μm、0.1μm

半经误差：

0.1% - 0.8%

评定参数：

Ra　Ry　Rz　Rt　Rq　Rp　Rv　Rmax　S　Sm　tp

测量范围：

Ra0.01μm-10μm

触针位移：

±500μm

分 辩 率：

0.001μm

示值误差：

≤3%±5nm

轮廓测量

使用范围：

X:0-160mm　Z:0-550mm

测量范围：

X:0-160mm　Z:±6、±10、±15

分 辩 率：

0.001μm、0.1μm

半经误差:

0.1% - 0.8%