美国Ferrotec Temescal公司电子束蒸发镀膜系统
北京创世杰科技发展有限公司
中国 北京
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型号
FC系列
 产品概述 |
| Temescal成立于1952年，是真空电子束蒸镀技术的，提供先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术，典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡，可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。 Temescal总部在美国加州，拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门，其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度LED、GaAs基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械（MEMS）和声表器件（SAW）等领域拥有很高的声誉和众多著名用户。 Temescal高级的工艺实现能力包括：高均匀性多层膜系工艺设计，先进的大功率电子枪及控制电源，无死角操作的双开门设计，洁净无油真空系统，多种精密工件架，全自动薄膜工艺控制系统，等等。 |
| 产品特点 |
| 1. 业内独有的真空锁式批量蒸镀系统 2. 整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外 3. 高性能电子枪和控制器 4. 所有OEM组件均来自世界一流供应商 5. 丰富的剥离(Lift-off)工艺经验 6. 高均匀性和高材料利用率 7. 可靠灵活的全自动控制系统 8. 设备性能完全满足24/7的严格的FAB生产要求 9. 专业的工艺研发和技术支持 |
| 技术参数 |
主要型号 设备产能 设备型号: FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400 |
主要应用
• 高亮度 LED
• 无线通信 Wireless infrastructure
• 微机电 MEMS
• 表面声波器件 SAW
