太阳能电池片生产车间
太阳能电池片生产车间的洁净度一般为万级、十万级,核心部分千级。
太阳能电池片的生产?程:
装片 → 超声波清洗→ 制绒 →®电极丝网印刷及烘干®PECVD→®IPA脱水→®→去磷硅玻璃 →®→等离子体边缘刻蚀®去离子水清洗 → IPA 脱水 → 扩散 包装入库®→ 分类检测→®电极烧结
其中:扩散、PECVD、烧结是关键工序,各工序必须制订严格的工艺要求和工艺参数
车间温湿度要求
由于制程工艺特殊性,所要求的送、排风、送、排水管道多,且风?大,因此建议车间的层高为 5-6m,其中车间的吊顶 高?为 3.0m.周边设施需配制的机房有:纯水机房、酸排处?塔、有机气体处?机房、硅烷燃烧塔、废水处?机房、?却水泵房、空调风柜及冰水主机房、压缩空气及其它特气机房。机房大小根据机台的需求?来选定。
主体结构为钢结构的厂房需为各种管道配制承重的二次钢结构,二次钢结构的高?为 5-6m
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。