扩散炉
产品简介
设备用途：半导体器件、太阳能电池片、电力半导体。
设备特点：采用积木式组合、控温器、推拉舟、流量计、阀门有多种不同配置供用户选择。
镓扩扩散炉
主要技术指标
扩散炉组机、推拉舟及层流净化台
源柜、排毒柜、微机控制柜
扩散炉管数：1~3管/台
炉管内径：90~240mm（2寸-6寸）
恒温区长度：600~1000mm±1℃（300~800℃）
600~1000m±0.5℃(800~1250℃)
单点稳定性：±1℃/24H（300~800℃）
±0.5℃/24H（800~12500℃）
气源路数：5路
气源控制：MFC或浮子流量计
推拉舟速度范围及精度:（1~1000）±3mm/min
控制器采用欧姆龙触摸屏和PLC控制
