工业超纯水系统，目前最常用的超纯水工艺：
①采用反渗透加去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→中间水箱→增压泵→一级混床→二级精混床→微滤器→用水点
②采用去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树脂软化器→
精密过滤器→阳床→阴床→混床→用水点
③采用反渗透加电去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树
脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→中间水箱→增压泵→电去离子装置
（EDI）→微滤器→用水点
二、设计方案
1、第一级预处理系统：采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20 m以上对人体有害的物质，系统可以自动（手动）进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。
2、第二级预处理系统：采用果壳活性碳过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动（手动）进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。
3、第三级预处理系统：采用阳树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙、镁离子（形成水垢的主要成分），可有效延长反渗透膜的使用寿命，并可进行智能化树脂再生。
4、第四级预处理系统：采用5um孔径精密过滤器，使水得到进一步的净化，使水的浊度和色度达到优化。保证RO系统进水条件要求，保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。
5、反渗透设备主机：采用反渗透技术进行深度脱盐处理（进口美国反渗透膜）去除钙、镁、铅、汞等对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率达99%以上，生产出符合国家标准的纯净水。
6、去离子主机：通过一级反渗透处理过的水，进入纯水箱，通过纯水泵，将纯水泵入到下一级混床，经一级混床出来的水质大都可低于1us/cm,如果对水质有更高的要求，则可用二级精混床进行处理，经二级混床处理后的水质电导可低于0.1us/cm,甚至至更高。
7、微过滤装置：安装该装置主要是为防止微粒树脂颗粒从布水中滤出，造成二次水质污染，这主要是运用在对水质特别高的场合。
8、杀菌系统：采用臭氧发生器（或紫外线杀菌器），减少细菌二次污染，灭菌率可达99%以上，同时臭氧溶于水形成富氧水，保证水的纯鲜。采用水气混合器使臭氧充分与水混合，达到最佳浓度比。
三、进水参数
源水：城市自来水、地下水（需要检测水样）、进水压力＞0.3MPa，进水电导率＜800us/cm；进水电导率＞800us/cm时，建议使用双级反渗透。
1、设计参数：100升/天到50吨每天
2、出水标准：国家一级或二级电子用超纯水标准
