概述

使用电容传感器和弯曲设计，是设备在纳米级别上有非常好的分辨率，重复性，稳定性。低误差，非常高的振荡频率使其有更高的性能。
ZSY/OSM系列有模拟和数字的控制器，可适应多种模拟接口。

应用领域

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静电灵敏应用；

推荐控制器

DP电子控制器

主要特点

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高振荡频率；

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高稳定性；

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与轴偏差最小的平行运动；

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ZSY/OSM与显微镜可以高速适配；

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电容传感器闭环控制；

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静电灵敏应用；

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负载600g；