下料机：1．目的：本设备功能为将5槽式RENA/SCHMID清洗制绒或刻蚀机中硅片导出，装入料盒中，以供下一步工艺使用。

2．适用尺寸： 125×125 (±0.5mm)；156×156 (±0.5mm)厚度为 160～280μm 的方形硅片。