ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率。位移传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100位移传感器都是一款理想的测量工具。
位移传感器应用领域:
应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
位移传感器主要特点:
高分辨率,可替代电容式传感器;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;
宽频带,可测高频振动体;
位移传感器对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
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技术规格:
技术参数
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ZLDS/N-100
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量程μm
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100
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分辨率nm
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15
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线性度μm
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±5
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重复性nm
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±75
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信号接收范围μm
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±400
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带宽KHz
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100
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允许表面反射度%
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4~100
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传感器探头基准距mm
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3.0
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垂直容忍度
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±0.1°
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供电
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±12VDC @80mA
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传感器体长mm
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58.7
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测量点直径μm
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100
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控制器尺寸mm
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98x32x13
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电缆长度mm
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460
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◆技术规格可按客户要求定制。
◆我们保留规格变化而不另行通知的权