ZCS1100精密电容位移传感器是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,采用创新的电容位移测量技术,适合测量任何导电目标,提供了纳米测量能力,成本低。
ZCS1100精密电容位移传感器应用领域
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,
天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
ZCS1100精密电容位移传感器主要特点
纳米级分辨率;
分辨率:0.1nm;
供电:±15VDV;
高性能、成本低,尺寸小巧;
线性0.08%;
灵敏度可调;
量程:240µm;
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