BOE就是buffer oxide etch.
BOE蚀刻液常用来作为氧化层图案的蚀刻,BOE的主要化学组成包括氢氟酸(HF)和氟化氨(NH4F),在半导体工业中常广泛使用于蚀刻无光刻胶护罩的氧化层。
氢氟酸是主要的蚀刻成份。
氟发氨是作为氢氟酸的(缓冲剂),以补充氟离子在溶液中因蚀刻反应的消耗。
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3,晶片清洗花篮、承载盒、片架、传递盘,晶片包装盒等;
4,抛光耗材方面:fujimi抛光液103,compol-80,光纤抛光液,金属抛光液,氧化铈抛光皮;
5,电子化学品方面:ITO蚀刻液,BOE蚀刻液,铬蚀刻液,去胶液,显影液,晶片切割保护液;
6,供用美国安智光刻胶:AZ1500,AZ6130,等各型号光刻胶;