HIVAC F-4 （代替绝种的DC704）具有非常优异的耐氧化性、热稳定性、耐化学药品性的苯甲基有机硅油。像石油类泵

用油以及脂肪酸酯类的泵用油一样，不会出现由于热以及气体吸附造成的热破裂现象。另外，在加

热状态下，几乎完全不会出现因真空被破坏时发生氧化而产生气体以及生成酸、焦油、沥青类的物

质等现象。因此，即使是长期使用也能够保证真空泵的稳定运行。 

     HIVAC F-4 的真空度达到10 ～10 Torr,若使用液氮凝气阀，可以把真空度提高到 10 Torr。 

   HIVAC F-5 一种无色，低分子量的苯甲基硅油，是专用于高真空和超高真空的扩散泵油。具有优

异的耐氧化性、热稳定性、耐化学药品性，不会出现类似石油类泵用油或脂肪酸酯类泵用油因为加

热以及气体吸附所造成的热裂解现象。也不会因为加热而发生氧化，生成酸、焦油、沥青类的物质。

因此，HIVAC F-5 即使长期使用也能保证真空泵的稳定运行。HIVAC F-5 的真空度达到10 ～10  Torr,

使用液氮凝气阀，能够获得10-12Torr的超真空。

日本信越HIVAC F-4/HIVAC F-5扩散泵用油