ZCS1100精密电容位移传感器应用领域

压电微位移、振动台，电子显微镜微调，

天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

ZCS1100精密电容位移传感器主要特点

纳米级分辨率；

分辨率：0.1nm；

供电：±15VDV；

高性能、成本低，尺寸小巧；

线性0.08%；

灵敏度可调；

量程：240µm；