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超纯水设备的制取工艺有：反渗透工艺，离子交换工艺，EDI电去离子工艺，三种方法都能制取电导率相同的纯水，但是价格差异很大，一些般来讲离子交换工艺前期投资小，后续再生费用高。EDI工艺前期投资大，是一般用户所不能接受的，反渗透工艺价格适中，是目前制取工业用纯水、超纯水最流行的做法。节能环保，无需酸碱再生，对环境不造成任何污染，是21世纪最选进的制取纯水的工艺。
用反渗透设备制备纯水一般无需考虑原水水质，应用一级反渗透设备一般可能出水电导率达到＜10 μs/cm，二级反渗透设备能达到电导率＜3 μs/cm 。（电导率和电阻率是互为倒数。电导率越低，电阻率越高，水的纯度就越纯，目前纯度高的水是18.22 MΩ.CM，几乎不导电。）
超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。如果想要水质达到18.25兆欧（电导率=1/电阻率）。则需要在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备。
反渗透设备预处理：它是保证反渗透膜长期稳定运行的关键。
第一级预处理系统采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除水中含有的泥沙、锰、铁锈、胶体物质、机械杂质、悬浮物等颗粒在20UM以上对人体有害的物质。自动过滤系统采用进口富莱克控制器，可以自动进行反冲洗、正冲洗等一系列操作。
第二级预处理系统 采用活性炭过滤器，去除水中的色素、异味、大量生化有机物，降低水中的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物质。自动过滤系统采用进口富莱克控制器，可以自动进行反冲洗、正冲洗等一系列操作。
第三级预处理系统采用阳离子树脂对水进行软化，主要去除水中的硬度。当含有硬度离子的原水通过树脂层时，水中的Ca2+、Mg2+被树脂交换吸附，同时等物质量释放出钠Na+离子，从软水器内流出的水就是去掉了硬度离子的软化水。从而有效防止逆渗透膜结垢。系统可以自动进行反冲，正冲等。并可以进行智能化树脂再生，延长系统使用寿命。
第四级预处理系统 采用5微米孔径精密过滤器使水得到进一步净化，使水的浊度和色度达到优化。保证RO系统的进水要求。
反渗透设备应用范围：
1. 太空水、纯净水、蒸馏水等制备
2. 酒类制造及降度用水；
3. 医药、电子等行业用水的前期制备；
4. 化工工艺的浓缩、分离、提纯及配水制备；
5. 锅炉补给水除盐软水；
6. 海水、苦咸水淡化
7. 造纸、电镀、印染等行业用水及废水处理
