说明

型号

Vertex251

Vertex311

xy精度

Uxy=2.0+L/250

Uxy=2.6+L/175

z精度

Ux=2.5+L/150

Ux=3.0+L/150

xy重现性

2.0um

2.5um

Z重现性

2.0um

2.0um

xy加速度

500mm/S2

z加速度

200mm/S2

xy移动速度

250mm/S

z移动速度

100mm/S

光学尺分辨率

1.0um,0.5um,0.1um

量测行程

200x150x150mm

300x300x150mm

外形尺寸

760x635x965mm

1090x865x990mm

重量

60kg

125kg

承载重量

7.5kg

12kg

基座材质

铝合金/花岗岩  选购1

传动方式

Unique Monorail X&Y Design, Monorail Linear Z

电控系统

伺服系统：CNC，鼠标，摇杆

光学系统&放大倍率

12:1 光学Zoom, 17-410x 或 6:5:1光学Zoom， 20-250x

影像 & 光源

红光LED（黑白系统）或白光LED（彩色系统）

软件

InSpec for Windows Metrology Software

工作环境

20℃±2°,30-80%湿度