主要特点
1、采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术,恒温波动度达±0.05℃,专门为半导体扩散炉配套。
2、提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式,适合不同的应用需求。
3、将源瓶与水介质彻底隔离的铁氟龙隔离套,将任何泄漏事故引起的危险降低到最低程度。
4、采用全封闭磁力泵循环搅拌,温场均匀,绝无泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计,大大提高控温精度和温场均匀性。
5、液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料,其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理,专门解决扩散炉应用问题。
性能指标
型号 | KSZY-S12 KSZY-S16 | KSZY-D10 KSZY-D12 KSZY-D16 | KSZY-T10 KSZY-T12 |
温度范围 | ℃ | +5~60(环境温度≤40℃)、+15~+40(环境温度≤60℃) |
温度波动度 | ±K | ±0.05~0.1(环境温度≤40℃)、±0.1~0.2(环境温度≤60℃) |
显示分辨率 | ℃ | 0.1 |
加热功率 | W | 600 | 600 | 600/1000 |
制冷量@20℃BT/RT | W | 250 | 300 | 350 |
内胆尺寸 | mm | 240×145×220(-S12 235×160×250(-S16) | 240×120×195(-D10) 240×145×220(-D12) 335×160×250(-D16) | 240×240×195(-T10) 240×285×220(-T12) |
源瓶尺寸 | mm | 100D×148H(-X10) 120D×168H(-X12) 160D×198H(-X16) |
源瓶隔离套 | 1个/不锈钢,内壁防腐处理 | 2个/不锈钢,内壁防腐处理 | 4个/不锈钢,内壁防腐处理 |
外形尺寸 | mm | 300×475×300(-S12) 300×475×320(-S16) | 300×450×275(-D10) 345×475×300(-D12) 375×475×320(-D16) | 375×570×300(-Q10) 345×615×300(-Q12) |
压缩机 | W | 150 |
制冷剂 | R134 a |
内胆材料 | 304不锈钢,提供316L不锈钢或钛材的定制 |
外壳材料 | 优质冷轧钢板静电喷涂 |
工作方式 | 连续 |
辅助功能 | 数显温度校正,传感器异常保护和报警,高温保护和低温报警,停电恢复,防干烧 |
电源 | 220V/50Hz |