DIT5200差动电涡流位置传感器内含两个电涡流探头,具有高分辨率、高灵敏度,多用于被测材料为铝、铜等的导电材料;有单、双通道配置。
应用领域应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。 主要特点◆线性度:±0.1~1%;◆量程:±0.25mm /±1.915mm;◆频响: 0~22KHz;◆埃米级分辨率;◆高灵敏度,最高394mV/μm;
应用领域
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。
主要特点
◆
线性度:±0.1~1%;
量程:±0.25mm /±1.915mm;
频响: 0~22KHz;
埃米级分辨率;
高灵敏度,最高394mV/μm;
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