型号
ZLM700/800
测量范围m
0～120
非线性nm
±1.25(平面镜干涉±0.625)
分辨率nm
2.5(平面镜干涉1.25，双棱镜干涉0.625)
测量速度m/s
最大16
信号延迟nm
<100
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技术规格
安装尺寸
