KD5100纳米级差动电涡流传感器高精度电涡流位移传感器
KD5100纳米级差动电涡流传感器主要特点:
每通道两个匹配的传感器使分辨率达到1nm;
超耐热,长时间稳定:1.27x10-4mm/月或更好;有耐低温传感器;
非常高的灵敏度,最高到394 mV/µm;
低功耗:小于2W(±15 Vdc典型情况下)。
应用领域 |
差动测量: 两个匹配的传感器被放置在被测物平台两侧,这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端,这个结构提供了极好的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。 低温应用: 20N传感器有一个专门的低温应用版本,它有一个内部伸缩接头,当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后,可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有最优异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。 真空应用: 传感器和KD-5100的电子器件都已用在10-6托的真空应用中了。 超高精度宇航应用: 已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下超过55,000小时,太空飞行环境下超过238,000小时。 小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ,可应用于空间狭小的场合。 商业差动: KDM-8200微分系统就是KD-5100的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本,又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下,这些差动系统是首选。 中继镜片激光定位(RME): RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被地反射到直径3米的目标地面。 KD5100被用于定位60cm的中继镜片,其精度高于试验目标的16倍,视线稳定度高2.3倍。 半导体圆晶片制造中的超高激光聚焦: 激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用,而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。KD5100就被应用到此技术中,控制激光的位置,完成超高位置、关键尺寸和对齐控制。 其它应用:望远镜定位、磁悬浮轴定位。 |
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技术规格
安装尺寸
型号 |
KD5100 |
测量范围mm |
15N:±0.889,20N:±1.905 |
线性度% |
±0.1~±0.5 |
输出V |
最大±10 |
长期稳定性mm/月 |
1.27x10-4 |
热灵敏度 |
<5mV/℉ |
频响 |
22KHz±5% |
输入电压 |
±15V @55mA |
功率损耗(系统)W |
<2 |
功率损耗(传感器) |
15N传感器:<50μW,20N传感器:<1.5mW |
输出电阻 |
<5Ω @5mA |
工作温度℃ |
前置器:-20~+60,传感器:-52~+105,低温20N传感器:+4°K~+220℉(+105℃) |
储存温度℃ |
前置器:-32~+82,传感器:-52~+105,低温20N传感器:+4°K~+220℉(+105℃) |
重量g |
前置器:70,15N-001传感器:17.3,20N传感器:16.8 | ◆我们保留规格变化而不另行通知的权利 |