应用领域

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磁盘驱动器磁头测试；

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膜/晶圆夹头对齐；

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扫描探针显微技术；

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光腔调整；

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干涉测量；

主要特点

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模拟定位监控；

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模拟命令输入；

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可选16位数字命令带0.2nm/bit分辨率（15μm的微动平台）；

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闭环操作；

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等比例，积分和微分（PID）反馈；

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陷波滤波器；

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可调的闭环带宽；

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线性度<0.02％；

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TTL兼容READY信号并带可调READY下限；

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同步信号多方向同时工作；

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