激光自主研发的紫外激光晶圆划片系统具有国际先进水平。采用紫外激光冷光源,热影响区小,切线质量优越。无接触式加工避免加工产生的应力,可以有效提高晶粒的切割质量和效率,加工后的芯片具有优良的电学特性。配有手动切割和CCD图像处理系统,能实现手动切割或自动切割。应用于半导体制造行业单、双台面玻璃钝化二极管晶圆,单、双台面可控硅晶圆,IC晶圆切割等半导体晶圆片的切割划片。
晶圆(陶瓷)激光划片机:具备氪灯泵浦YAG激光划片机所有性能优点,此外光束质量更好(标准基模)、切缝更细(30μm)、边缘更平整光滑;转换效率更高、运行成本更低;真正免维护、不间断连续运行、无消耗性易损件更换;设备体积更小(风冷) 技术参数: 型号规格:SFS10/SFS20 激光功率:10W(SFS10) 20W(SFS20) 最大划片速度:160mm/s(SFS10) 200mm/s(SFS20) 激光重复频率:20KHz~100KHz 划片线宽: ≤30μm 激光波长:
1.064μm 划片精度: ±10μm 工作台幅面:350mm × 350mm 工作电源:220V/50Hz/1KVA 工作台:双气仓负压吸附,T型台双工作位交替工作 冷却方式:强迫风冷 晶圆(陶瓷)激光划片机的应用和市场:太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片和硅片的划片(切割、切片)。
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