电涡流传感器 电涡流位移传感器 涡流位移传感器 电涡流 DIT5200差动电涡流位置传感器
两个匹配的电涡流传感器被放置在被测物平台两侧,这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端,这个结构提供了极好的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。具有高分辨率、高灵敏度,使用于被测材料为铝、铜等导电材料;有单、双通道配置;
电涡流传感器应用领域
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。如激光反射镜聚焦平台定位,望远镜定位,磁悬浮轴定位。
电涡流传感器主要特点
埃米级分辨率;
频响: 0~22KHz;
线性度:±0.1~1%;
量程:±0.25mm /±1.915mm;
高灵敏度,最高394mV/μm;
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